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      產品展示

      長沙埃福思科技有限公司

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      離子束加工案列
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      離子束拋光是通過面形誤差進行確定性修形拋光的一種工藝,光學元器件面形誤差在波長范圍內應用離子束加工,在技術上是合理的。在一次迭代拋光工序后,我們可獲得去除效率,之后的迭代加工會更加精準,直到達到客戶最終理想要求。迭代次數由表面的面形誤差決定,低頻誤差可通過大束徑離子束快速修正。中高頻誤差則選用更小束徑離子束修正。

       

      離子束加工案列

       

      1、材料:石英

         工件特征:平面,直徑70mm。

         客戶要求:rms≤λ/100

         結論:初始面形Rms0.061λ經過一次迭代加工面形收斂至Rms0.007λ,實現rms值提升8倍的改善效率。

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

       

       

       

      2、材料:石英

         工件特征:平面,直徑100mm。

         結論:初始面形Rms2.687nm經過一次迭代加工面形收斂至Rms0.95nm,實現rms值提升3倍的改善效率。

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

       


      3、材料:單晶硅

         工件特征:平面,直徑140mm。

         客戶要求:rms≤λ/50

         結論:初始面形Rms0.06λ經過一次迭代加工面形收斂至Rms0.02λ,實現rms值提升3倍的改善效率。

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

       

      4、材料:藍寶石

         工件特征:平面,直徑260mm。

         客戶要求:S1、S2面  rms≤λ/25

         結論:初始面形S1:Rms0.265λ經過二次迭代加工面形收斂至Rms0.039λ。

         初始面形S1:Rms0.135λ經過二次迭代加工面形收斂至Rms0.022λ。

       

      第一次迭代加工

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

       


      第二次迭代加工

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

      藍寶石加工照片

      離子束拋光, Ion Beam Figuring

      離子束拋光, Ion Beam Figuring

         材料:微晶

         客戶要求:rms≤λ/30

         工件特征:非球面,直徑280mm,R值為-1190.62mm,K為-1.248。

         結論:初始面形Rms0.276λ經過三次迭代加工面形收斂至Rms0.029λ。

        

       

      加工前后面形變化

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

       

      加工過程面形變化

      離子束拋光, Ion Beam Figuring 

       


      非球面加工照片

      離子束拋光, Ion Beam Figuring


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